成都超纯

成都超纯应用材料股份有限公司申请刻蚀腔上顶板相关专利,提升刻蚀腔顶板抗氟等离子体腐蚀性能

成都超纯应用材料股份有限公司申请刻蚀腔上顶板相关专利,提升刻蚀腔顶板抗氟等离子体腐蚀性能

国家知识产权局信息显示,成都超纯应用材料股份有限公司申请一项名为“真空离子源刻蚀腔上顶板及其制备方法”的专利。申请公布号为CN122727706A,申请号为CN202610999617.1,申请公布日期为2026年9月11日,申请日期为2026年7月7日,发明