9月15日消息，国家知识产权局信息显示，成都超纯应用材料股份有限公司申请一项名为“真空离子源刻蚀腔上顶板及其制备方法”的专利。申请公布号为CN122727706A，申请号为CN202610999617.1，申请公布日期为2026年9月11日，申请日期为2026年7月7日，发明人施鹏远、柴杰、龚德国、谢亮君，专利代理机构成都蓉创智汇知识产权代理有限公司，专利代理师谭新民，分类号C23C4/134、C23C4/11、C23C4/10。
专利摘要显示，本发明公开了一种真空离子源刻蚀腔上顶板及其制备方法，属于半导体刻蚀领域，包括氧化铝陶瓷基体件，该氧化铝陶瓷基体件上设置有氧化钇层和氧化钇氟化层，氧化钇层位于氧化铝陶瓷基体件与氧化钇氟化层之间，氧化钇层为经氟化处理的氧化钇层，氧化钇氟化层为经氟化处理的氧化钇氟化层。本发明显著提升了涂层在含氟等离子体刻蚀环境中的耐蚀性能和长期使用可靠性。
超纯应材是国内半导体设备精密零部件领域领先企业，专注核心工艺研发，具备全流程技术壁垒。公司成立于2005年8月25日，将于2026年8月11日在深圳证券交易所上市，注册及办公地点均位于四川省成都市。
超纯应材隶属于申万行业电子-半导体-半导体设备赛道，核心面向芯片制造、精密光学等领域，提供经材料改性、精密表面加工、精密清洗和特殊涂层工艺后的精密零部件产品及服务，当前覆盖高价股、靶材、比亚迪概念板块。
2026年上半年，超纯应材实现营业收入3.06亿元，在27家同行业企业中排名第22位，同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司为66.91亿元，行业平均营收21亿元、中位数为8.97亿元。营收结构方面，半导体设备特殊涂层零部件贡献2.95亿元，占比96.36%；精密光学器件营收754.75万元，占比2.46%；特种材料营收317.1万元，占比1.04%；其他业务营收41.91万元，占比0.14%。同期公司实现净利润1.13亿元，行业排名15/27，行业净利润榜首北方华创达32.29亿元，中微公司以27.97亿元位列第二，行业平均净利润4.99亿元，中位数为1.57亿元。
指标类别具体项目超纯应材当期数值行业对标情况营业收入2026年上半年营收3.06亿元行业排名22/27，行业均值21亿元、中位数8.97亿元，头部企业北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元营收构成半导体设备特殊涂层零部件2.95亿元占总营收比重96.36%营收构成精密光学器件754.75万元占总营收比重2.46%营收构成特种材料317.1万元占总营收比重1.04%营收构成其他业务41.91万元占总营收比重0.14%净利润2026年上半年净利润1.13亿元行业排名15/27，行业均值4.99亿元、中位数1.57亿元，头部企业北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元
成都超纯应用材料股份有限公司近期专利情况如下：
序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1基于环形气幕保护的静电吸盘吸附介质层的喷涂方法发明专利公布CN202610999509.42026-07-07CN122707074A2026-09-08柴杰、施鹏远2真空离子源刻蚀腔上顶板及其制备方法发明专利公布CN202610999617.12026-07-07CN122727706A2026-09-11施鹏远、柴杰、龚德国、谢亮君3一种石墨支撑的碳化硅-金刚石复合膜层及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610976967.62026-07-02CN122522213A2026-08-07柴杰、廖源4一种无碳残留氮化铝陶瓷基板及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610840554.52026-06-11CN122586578A2026-08-18柴杰、赖洪岚、张积玮、何静、叶明亮5一种高弹性模量氮化硅陶瓷及其制备方法发明专利公布CN202610825777.42026-06-09CN122725873A2026-09-11叶明亮、柴杰、张积玮、何静、赖洪岚6铜管水冷等离子石英管用导热硅橡胶及其制备、装配方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610687353.62026-05-19CN122213917A2026-06-16柴杰、赵邦垚、郭靖7一种静电吸盘的多层梯度复合绝缘结构及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610579090.72026-04-29CN122121621A2026-05-29柴林、施鹏远8一种基于分段通氧煅烧制备蚀刻用高纯氧化钇陶瓷的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610510106.92026-04-17CN122403983A2026-07-17叶明亮、柴杰、张积玮9一种半导体设备铝合金零部件基体表面制备氟化保护膜的方法及半导体设备铝合金零部件发明专利实质审查的生效、公布CN202610495533.42026-04-15CN122543023A2026-08-11柴杰、张驰10一种同质法制备尖端半导体自支撑膜的方法及自支撑膜发明专利实质审查的生效、公布CN202610452379.22026-04-08CN122341080A2026-07-03陈文杰、柴杰11一种石英舟表面绝缘薄膜的静电喷涂方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610452414.02026-04-08CN122377703A2026-07-14陈文杰、柴杰12一种半导体领域有机-无机复合涂层制品的制备方法及制品发明专利实质审查的生效、公布CN202610295122.02026-03-11CN122141932A2026-06-05柴杰、陈文杰13一种用于制备氮氧化铝粉体的气氛连续烧结炉发明专利实质审查的生效、公布CN202510707267.22025-05-29CN120333156A2025-07-18齐建起、黄旭、卢开雷、周小兰、陈胜元、卢铁城、何利文、柴杰14一种用于静电吸盘的多孔氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用发明专利专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、公布CN202410477878.82024-04-19CN118063196B2024-07-19柴杰、王力潇15一种铌酸铋钙基铋层状结构铁电压电陶瓷及其制备方法发明专利授权CN202410125687.52024-01-30CN117964359B2026-03-03柴杰、王丹16一种石墨碳化硅复合材料及石墨表面碳化硅的沉积工艺发明专利专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN202311629512.X2023-12-01CN117328036B2024-04-05柴杰、白秋云17一种氧化铝抛光液及其制备方法发明专利CN202310154143.72023-06-29CN116515401B2025-04-01柴杰、刘金凤18一种高强度、低密度碳化硅及其制备方法和应用发明专利CN202310745155.72023-06-25CN116496103B2023-08-25叶明亮、柴杰19一种反应烧结碳化硅及其湿法成型制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202310680023.02023-06-09CN116425550A2023-07-14叶明亮、柴林20一种真空镀膜机坩埚陶瓷套实用新型专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权CN202320923132.62023-04-23CN219385302U2023-07-21姜波21一种可翻转式校正板装置及真空镀膜机实用新型CN202320923125.62023-04-23CN219637325U2023-09-05陈志勇22一种无压烧结碳化硅素胚中间体及碳化硅陶瓷与制备方法发明专利CN202310433855.22023-04-21CN116143523B2023-07-28柴林、叶明亮、李成安、范国忠23一种镀膜支架及镀膜机实用新型CN202320793981.42023-04-12CN219363784U2023-07-18苏云飞24一种镀膜用的钼舟的制作工装实用新型CN202320794031.32023-04-12CN219401848U2023-07-25强永武25一种基于注凝成型的氧化铝陶瓷及其制备方法发明专利CN202310310030.12023-03-28CN116023124B2023-07-25柴林、李成安、叶明亮、王力潇26一种适用于多型号环抛机的沥青现场浇注装置实用新型CN202320542101.62023-03-20CN219359213U2023-07-18刘俊呈27一种勃母石溶胶分散剂、制备方法及其应用发明专利CN202310201136.82023-03-06CN116081668B2023-07-25柴林、杨军28一种小磨头抛光石英的工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202310154164.92023-02-23CN116100376A2023-05-12柴林、李青松29一种碳化硅基材的连接材料、制备方法和应用发明专利CN202310065945.02023-02-06CN115806443B2023-07-14柴杰、叶明亮30一种定向CVD碳化硅沉积固定装置实用新型CN202222872459.32022-10-28CN218710827U2023-03-24白秋云31一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置实用新型CN202222764182.22022-10-20CN218372513U2023-01-24白秋云32一种碳化硅生产用碳化硅块破碎装置实用新型CN202222764385.12022-10-20CN218689782U2023-03-24白秋云33一种大尺寸AlON透明陶瓷的流延成型生产方法发明专利CN202211191240.52022-09-28CN115636672B2023-09-19卢铁城、杜文欣、齐建起、柴杰、卢开雷、周小兰、何兵、黄旭34一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积设备实用新型CN202221046233.12022-04-29CN217628611U2022-10-21白秋云35一种CVD碳化硅沉积处理设备实用新型CN202221044071.82022-04-29CN217895744U2022-11-25白秋云36一种大小可调节的PVD镀膜夹具实用新型专利权的终止、授权CN202021162632.52020-06-20CN212834007U2021-03-30白秋云37一种蒸发镀膜用回转工装实用新型专利权的终止、授权CN202021158371.X2020-06-20CN212834006U2021-03-30白秋云38一种真空镀膜翻转工装实用新型专利权的终止、授权CN202021162634.42020-06-20CN212834008U2021-03-30白秋云39一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具实用新型专利权的终止、授权CN202021158166.32020-06-20CN212834005U2021-03-30白秋云40一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具实用新型专利权的终止、授权CN202020736676.82020-05-07CN212834004U2021-03-30白秋云41一种碳化硅沉积的进气系统实用新型CN202020006752.X2020-01-02CN211713195U2020-10-20白秋云42一种CVD碳化硅反应腔室真空度测量装置实用新型专利权的终止、授权CN202020029167.12020-01-02CN211717702U2020-10-20白秋云43一种分流式CVD沉积室实用新型CN202020006486.02020-01-02CN211713196U2020-10-20白秋云44一种CVD碳化硅进气系统实用新型CN202020014529.X2020-01-02CN211713197U2020-10-20白秋云45一种CVD反应炉过滤装置实用新型CN202020005366.92020-01-02CN211706224U2020-10-20白秋云46一种耐腐蚀涂层及其制备方法发明专利CN201910386092.42019-05-09CN110158032B2021-09-28白秋云47一种镜片生产用干燥设备实用新型专利权的终止、授权CN201920225634.52019-02-22CN209706490U2019-11-29白秋云、 何亮、 肖波48一种用于镜片生产的清洗装置实用新型专利权的终止、授权CN201920224994.32019-02-22CN209715845U2019-12-03白秋云、 何亮、 肖波49一种新型镀膜用靶材回收装置实用新型专利权的终止、授权CN201920225007.12019-02-22CN209741254U2019-12-06白秋云、 何亮、 肖波50一种新型气瓶放置运输架实用新型专利权的终止、授权CN201920225676.92019-02-22CN209744051U2019-12-06白秋云、 何亮、 肖波
