成都超纯申请静电吸盘喷涂方法相关专利,该喷涂方法可约束悬浮液防扩散降团聚

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9月9日消息,国家知识产权局信息显示,成都超纯应用材料股份有限公司申请一项名为“基于环形气幕保护的静电吸盘吸附介质层的喷涂方法”的专利。申请公布号为CN122707074A,申请号为CN202610999509.4,申请公布日期为2026年9月8日,申请日期为2026年7月7日,发明人柴杰、施鹏远,专利代理机构成都蓉创智汇知识产权代理有限公司,专利代理师谭新民,分类号C23C4/134。

专利摘要显示,本申请涉及等离子喷涂技术领域,具体涉及一种基于环形气幕保护的静电吸盘吸附介质层的喷涂方法,通过在气体通道和注入通道将设置若干个保护套管,使在悬浮液注入前先输入保护气体经保护套管进入注入通道内形成一个环形气幕,环形气幕约束悬浮液向注入通道的中心靠拢,防止在喷嘴内发生扩散,以及含有无水乙醇的悬浮液体系降低团聚,使其均匀稳定分散。

超纯应材是国内半导体设备精密零部件领域领先企业,专注提供高精密改性加工零部件产品,具备全流程工艺技术壁垒。公司成立于2005年8月25日,将于2026年8月11日在深圳证券交易所上市,注册及办公地点均位于四川省成都市。

公司所属申万行业为电子-半导体-半导体设备,覆盖高价股、转融券标的、融资融券概念板块,主营业务为面向芯片制造、精密光学等领域,提供经材料改性、精密表面加工、精密清洗和特殊涂层工艺后的精密零部件产品及服务。

2026年上半年,超纯应材实现营业收入3.06亿元,在27家同行业上市公司中排名第22位,同期行业营收第一名北方华创达201.61亿元、第二名中微公司达66.91亿元,行业平均营收为21亿元,行业中位数为8.97亿元;当期实现净利润1.13亿元,行业排名第15位,同期行业净利润第一名北方华创为32.29亿元、第二名中微公司为27.97亿元,行业平均净利润为4.99亿元,行业中位数为1.57亿元。从主营业务构成来看,半导体设备特殊涂层零部件贡献营收2.95亿元,占比96.36%;精密光学器件贡献营收754.75万元,占比2.46%;特种材料贡献营收317.1万元,占比1.04%;其他业务贡献营收41.91万元,占比0.14%。

业务板块营收金额营收占比半导体设备特殊涂层零部件2.95亿元96.36%精密光学器件754.75万元2.46%特种材料317.1万元1.04%其他41.91万元0.14%

成都超纯应用材料股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1基于环形气幕保护的静电吸盘吸附介质层的喷涂方法发明专利公布CN202610999509.42026-07-07CN122707074A2026-09-08柴杰、施鹏远2一种石墨支撑的碳化硅-金刚石复合膜层及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610976967.62026-07-02CN122522213A2026-08-07柴杰、廖源3一种无碳残留氮化铝陶瓷基板及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610840554.52026-06-11CN122586578A2026-08-18柴杰、赖洪岚、张积玮、何静、叶明亮4铜管水冷等离子石英管用导热硅橡胶及其制备、装配方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610687353.62026-05-19CN122213917A2026-06-16柴杰、赵邦垚、郭靖5一种静电吸盘的多层梯度复合绝缘结构及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610579090.72026-04-29CN122121621A2026-05-29柴林、施鹏远6一种基于分段通氧煅烧制备蚀刻用高纯氧化钇陶瓷的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610510106.92026-04-17CN122403983A2026-07-17叶明亮、柴杰、张积玮7一种半导体设备铝合金零部件基体表面制备氟化保护膜的方法及半导体设备铝合金零部件发明专利实质审查的生效、公布CN202610495533.42026-04-15CN122543023A2026-08-11柴杰、张驰8一种同质法制备尖端半导体自支撑膜的方法及自支撑膜发明专利实质审查的生效、公布CN202610452379.22026-04-08CN122341080A2026-07-03陈文杰、柴杰9一种石英舟表面绝缘薄膜的静电喷涂方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610452414.02026-04-08CN122377703A2026-07-14陈文杰、柴杰10一种半导体领域有机-无机复合涂层制品的制备方法及制品发明专利实质审查的生效、公布CN202610295122.02026-03-11CN122141932A2026-06-05柴杰、陈文杰11一种用于制备氮氧化铝粉体的气氛连续烧结炉发明专利实质审查的生效、公布CN202510707267.22025-05-29CN120333156A2025-07-18齐建起、黄旭、卢开雷、周小兰、陈胜元、卢铁城、何利文、柴杰12一种用于静电吸盘的多孔氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用发明专利专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、公布CN202410477878.82024-04-19CN118063196B2024-07-19柴杰、王力潇13一种铌酸铋钙基铋层状结构铁电压电陶瓷及其制备方法发明专利授权CN202410125687.52024-01-30CN117964359B2026-03-03柴杰、王丹14一种石墨碳化硅复合材料及石墨表面碳化硅的沉积工艺发明专利专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN202311629512.X2023-12-01CN117328036B2024-04-05柴杰、白秋云15一种氧化铝抛光液及其制备方法发明专利CN202310154143.72023-06-29CN116515401B2025-04-01柴杰、刘金凤16一种高强度、低密度碳化硅及其制备方法和应用发明专利CN202310745155.72023-06-25CN116496103B2023-08-25叶明亮、柴杰17一种反应烧结碳化硅及其湿法成型制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202310680023.02023-06-09CN116425550A2023-07-14叶明亮、柴林18一种真空镀膜机坩埚陶瓷套实用新型专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权CN202320923132.62023-04-23CN219385302U2023-07-21姜波19一种可翻转式校正板装置及真空镀膜机实用新型CN202320923125.62023-04-23CN219637325U2023-09-05陈志勇20一种无压烧结碳化硅素胚中间体及碳化硅陶瓷与制备方法发明专利CN202310433855.22023-04-21CN116143523B2023-07-28柴林、叶明亮、李成安、范国忠21一种镀膜支架及镀膜机实用新型CN202320793981.42023-04-12CN219363784U2023-07-18苏云飞22一种镀膜用的钼舟的制作工装实用新型CN202320794031.32023-04-12CN219401848U2023-07-25强永武23一种基于注凝成型的氧化铝陶瓷及其制备方法发明专利CN202310310030.12023-03-28CN116023124B2023-07-25柴林、李成安、叶明亮、王力潇24一种适用于多型号环抛机的沥青现场浇注装置实用新型CN202320542101.62023-03-20CN219359213U2023-07-18刘俊呈25一种勃母石溶胶分散剂、制备方法及其应用发明专利CN202310201136.82023-03-06CN116081668B2023-07-25柴林、杨军26一种小磨头抛光石英的工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202310154164.92023-02-23CN116100376A2023-05-12柴林、李青松27一种碳化硅基材的连接材料、制备方法和应用发明专利CN202310065945.02023-02-06CN115806443B2023-07-14柴杰、叶明亮28一种定向CVD碳化硅沉积固定装置实用新型CN202222872459.32022-10-28CN218710827U2023-03-24白秋云29一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置实用新型CN202222764182.22022-10-20CN218372513U2023-01-24白秋云30一种碳化硅生产用碳化硅块破碎装置实用新型CN202222764385.12022-10-20CN218689782U2023-03-24白秋云31一种大尺寸AlON透明陶瓷的流延成型生产方法发明专利CN202211191240.52022-09-28CN115636672B2023-09-19卢铁城、杜文欣、齐建起、柴杰、卢开雷、周小兰、何兵、黄旭32一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积设备实用新型CN202221046233.12022-04-29CN217628611U2022-10-21白秋云33一种CVD碳化硅沉积处理设备实用新型CN202221044071.82022-04-29CN217895744U2022-11-25白秋云34一种大小可调节的PVD镀膜夹具实用新型专利权的终止、授权CN202021162632.52020-06-20CN212834007U2021-03-30白秋云35一种蒸发镀膜用回转工装实用新型专利权的终止、授权CN202021158371.X2020-06-20CN212834006U2021-03-30白秋云36一种真空镀膜翻转工装实用新型专利权的终止、授权CN202021162634.42020-06-20CN212834008U2021-03-30白秋云37一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具实用新型专利权的终止、授权CN202021158166.32020-06-20CN212834005U2021-03-30白秋云38一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具实用新型专利权的终止、授权CN202020736676.82020-05-07CN212834004U2021-03-30白秋云39一种碳化硅沉积的进气系统实用新型CN202020006752.X2020-01-02CN211713195U2020-10-20白秋云40一种CVD碳化硅反应腔室真空度测量装置实用新型专利权的终止、授权CN202020029167.12020-01-02CN211717702U2020-10-20白秋云41一种分流式CVD沉积室实用新型CN202020006486.02020-01-02CN211713196U2020-10-20白秋云42一种CVD碳化硅进气系统实用新型CN202020014529.X2020-01-02CN211713197U2020-10-20白秋云43一种CVD反应炉过滤装置实用新型CN202020005366.92020-01-02CN211706224U2020-10-20白秋云44一种耐腐蚀涂层及其制备方法发明专利CN201910386092.42019-05-09CN110158032B2021-09-28白秋云45一种镜片生产用干燥设备实用新型专利权的终止、授权CN201920225634.52019-02-22CN209706490U2019-11-29白秋云、 何亮、 肖波46一种用于镜片生产的清洗装置实用新型专利权的终止、授权CN201920224994.32019-02-22CN209715845U2019-12-03白秋云、 何亮、 肖波47一种新型镀膜用靶材回收装置实用新型专利权的终止、授权CN201920225007.12019-02-22CN209741254U2019-12-06白秋云、 何亮、 肖波48一种新型气瓶放置运输架实用新型专利权的终止、授权CN201920225676.92019-02-22CN209744051U2019-12-06白秋云、 何亮、 肖波49一种便于清洗的新型浆料混合器实用新型专利权的终止、授权CN201920225012.22019-02-22CN209865846U2019-12-31白秋云、 何亮、 肖波50一种高致密度高纯度碳化硅衬底材料的制备方法发明专利CN201810164824.02018-02-27CN108558405B2021-08-24白秋云