成都超纯申请氮化硅陶瓷相关专利，该法制备高弹模增韧降本氮化硅陶瓷

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1基于环形气幕保护的静电吸盘吸附介质层的喷涂方法发明专利公布CN202610999509.42026-07-07CN122707074A2026-09-08柴杰、施鹏远2真空离子源刻